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突破性进展 中金岭南韶关冶炼厂乐成制备出高质量砷化镓单晶

7月14日,AG尊龙控股所属中金岭南韶关冶炼厂(简称:韶冶厂)稀贵金属绿色接纳与提取实验室半导体衬底质料中试团队利用自有技术,第一次投料就乐成生产出第一根砷化镓单晶,质量优良,开端判定为零缺陷单晶体。

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砷化镓是一种半导体质料,具有更高的电子迁移率、更宽的禁带宽度、更高的热导率等特点,是高频电子器件制造中的重要应用基底质料之一,在光电子器件、微波电子器件、高亮度的发光二极管、激光器以及高频晶体振荡器等领域应用广泛。

砷化镓质料可以分为多晶和单晶两种形态,从砷化镓多晶到砷化镓单晶的历程称为晶体生长,多晶质料通常含有一定量的杂质和晶界缺陷,而砷化镓单晶质料的晶体结构则越发完善,具有更好的电子性能。

据悉,目前韶冶厂的重点项目——年产86万片高纯半导体衬底质料项目的主产品之一,是由砷化镓单晶经过切磨抛洗等一系列工序后形成的砷化镓单晶衬底质料。本次自主乐成制备的砷化镓单晶是在此前合成的砷化镓多晶基础上制备而来,标记着韶冶厂在砷化镓单晶装备、晶体生长工艺控制等方面上已趋于成熟,将为年产86万片高纯半导体衬底质料项目建成投产涤讪坚实基础。



撰稿:吴选高

编辑:刘 韵

编审:杜文光

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